Gegen Ende des vergangenen Geschäftsjahres hatte das Fehlen von Exportlizenzen den Halbleiter-Ausrüster gebremst. Behörden waren überlastet und warfen teils einen kritischeren Blick auf bestimmte Abnehmerländer, insbesondere China. Zuletzt hatte sich die Lage aber wieder entspannt und Lizenzen trudelten nach und nach ein, sagte Unternehmenschef Felix Grawert. Rückenwind liefert eine weiterhin hohe Nachfrage nach Anlagen zur Herstellung von Elektronikchips auf Basis von Galliumnitrid und Siliziumkarbid. Bauteile auf dieser Basis sind kleiner, energieeffizienter und temperaturbeständiger als…
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